延續摩爾定律 EUV技術角色關鍵

作者: 蕭凱木
2017 年 06 月 08 日
台積電已宣布將在2018年第二代7奈米製程中開始導入EUV微影技術,以做為5奈米全面採用EUV的先期準備。儘管目前EUV設備曝光速度仍不如期待且價格極為高昂,但與採用雙重或多重曝光技術相比,EUV的投資對解決先進製程不斷攀升的成本問題仍是相對有力的解決方案。
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